超純水（ちょうじゅんすい）とは主に産業分野で用いられる用語で、極めて純度の高い水のこと。純水の製造では対象外だった有機物や微粒子、気体なども様々な工程を経て取り除かれている。
現在、最先端の設備で製造されている超純水に含まれる不純物の量は、0.01μg/L（1リットル中に1億分の1グラム）の水準に達し、これは例えば東京ドーム（約124万立方メートル）に対するピンポン球やビー玉に相当する。
超純水とは、用水の水質が極めて高いレベルにあることを意味する。しかし明確な定義や国家・国際規格などはなく、使用目的に基づく個々の要求水準を満たすことが最大の条件となっている。さらに要求水準自体が年々高度化しており、ひとくちに超純水と言ってもグレードはまちまちである。
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言葉としては1950年には既に登場していたものの、その純度は現在のそれに遠く及ばなかった。 特に非電解質（生菌を含む有機質、コロイド、ケイ酸など）は除去・測定ともに困難であったが、産業技術高度化に伴う『より不純物の少ない水を』との要求は強まり続け、これに応えるための不純物除去技術も高度化し続けた。すなわち、超純水の歴史はそのまま不純物の除去・管理技術の歴史でもある。
超純水の用途は当初より多様であり1966年の文献には、電子工業、貫流ボイラの復水処理、原子力発電、合成繊維工業、有機無機薬品工業、製薬工業、写真工業などが挙げられている。